ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Название англ.: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements

Содержание госта: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники


ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования (фото 1 из 3)
ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования (фото 2 из 3)
ГОСТ 25196-82 Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования (фото 3 из 3)

Похожие документы

  • ГОСТ Р МЭК 62086-2-2005 Электрооборудование для взрывоопасных газовых сред. Нагреватели сетевые электрические резистивные. Часть 2. Требования по проектированию, установке и техническому обслуживанию
  • ГОСТ Р 52648-2006 Машины и оборудование лесосплавные. Требования безопасности. Методы контроля требований безопасности
  • ГОСТ Р 52065-2007 Головные светильники для применения в шахтах, опасных по газу. Часть 1. Общие требования и методы испытаний, относящиеся к взрывозащищенности
  • ГОСТ 12.2.003-91 Система стандартов безопасности труда. Оборудование производственное. Общие требования безопасности
  • ГОСТ Р 50267.12-2006 Изделия медицинские электрические. Часть 2-12. Частные требования безопасности к аппаратам искусственной вентиляции легких для интенсивной терапии
  • ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления