ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Название англ.: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products

Содержание госта: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов


ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 1 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 2 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 3 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 4 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 5 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 6 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 7 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 8 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 9 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 10 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 11 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 12 из 13)
ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции (фото 13 из 13)

Похожие документы

  • ГОСТ Р 8.631-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки
  • ГОСТ Р 8.630-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые измерительные. Методика поверки
  • ГОСТ ЕН 12626-2006 Безопасность металлообрабатывающих станков. Станки для лазерной обработки
  • ГОСТ 8.275-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений средней мощности лазерного излучения и энергии импульсного лазерного излучения в диапазоне длин волн от 0,3 до 12,0 мкм
  • ГОСТ ИСО 4407-2006 Чистота промышленная. Определение загрязненности жидкости методом счета частиц с помощью оптического микроскопа
  • ГОСТ Р 8.628-2007 Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления