ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Название англ.: Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications

Содержание госта: Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем