ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия

Название англ.: Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications

Содержание госта: Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем


ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 1 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 2 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 3 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 4 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 5 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 6 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 7 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 8 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 9 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 10 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 11 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 12 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 13 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 14 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 15 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 16 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 17 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 18 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 19 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 20 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 21 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 22 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 23 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 24 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 25 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 26 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 27 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 28 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 29 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 30 из 31)
ГОСТ Р 52250-2004 Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия (фото 31 из 31)

Похожие документы

  • ГОСТ Р МЭК 60811-2-1-2006 Общие методы испытаний материалов изоляции и оболочек электрических и оптических кабелей. Часть 2-1. Специальные методы испытаний эластомерных композиций. Испытания на озоностойкость, тепловую деформацию и маслостойкость
  • ГОСТ 2.052-2006 Единая система конструкторской документации. Электронная модель изделия. Общие положения
  • ГОСТ 7.11-2004 Система стандартов по информации, библиотечному и издательскому делу. Библиографическая запись. Сокращение слов и словосочетаний на иностранных европейских языках
  • ГОСТ 8.588-2006 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений оптической плотности материалов
  • ГОСТ Р 51317.3.5-2006 Совместимость технических средств электромагнитная. Ограничение колебаний напряжения и фликера, вызываемых техническими средствами с потребляемым током более 16 А, подключаемыми к низковольтным системам электроснабжения. Нормы и методы испытаний
  • Изменение №1 к ГОСТ Р 52281-2004